日 삼성에 EUV 포토레지스트 첫 허가···"상황 예의 주시"

반입은 아직···경기 화성 EUV 공정에 투입될 듯

불확실성 다소 해소될 것으로 보이나 변수 대비

일본 정부가 지난달 4일 반도체 핵심 소재 수출 규제를 강화한지 약 한달 만에 극자외선(EUV) 포토레지스트 등 일부 소재를 국내업체에 공급하는 것을 승인했다.

특히 이번 수출을 허가한 포토레지스트는 삼성전자가 신청한 물량인 것으로 알려졌다. 국내 반도체 업계는 일단 한시름 덜었다는 반응이다. 다만 일본의 수출 규제 기조가 여전한 만큼 상황을 예의주시하고 있다.

8일 업계 관계자에 따르면 일본정부는 최근 삼성전자가 요청한 EUV 생산라인용 포토레지스트 수출을 허가한 것으로 알려졌다. 다만 아직 실제로 반입된 것은 아닌 것으로 보인다.

삼성전자와 SK하이닉스는 지난달 초 일본이 고순도 불화수소(에칭가스), 플루오린 폴리이미드, 포토레지스트 등에 대한 대(對)한국 수출 규제를 발표한 이후에도 정상적으로 수출 허가를 신청해 온 것으로 전해졌다.

이 가운데 삼성전자의 신청 건에 대해 일본이 규제 발표 이후 처음으로 일부 허가 결정을 내렸다는 게 업계 측 전언이다. 삼성전자는 이에 대해 "공식적인 확인은 어렵지만 상황을 파악하고 있다"고 밝혔다.

앞서 이낙연 국무총리는 이날 정부 서울청사에서 열린 국정현안점검조정회의에서 "일본이 어제 3대 수출규제 품목의 하나인 EUV 포토레지스트의 한국 수출을 처음으로 허가했다"고 확인했다.

삼성전자는 해당 물량이 실제로 수입되면 즉각 필요한 절차를 거쳐 파운드리 생산시설인 경기도 화성캠퍼스 S3 라인의 EUV 기반 최첨단 공정에 투입할 것으로 알려졌다.

국내 반도체·디스플레이업계는 이번 일본의 조치로 화이트리스트(백색국가) 배제로 인한 불확실성이 다소 해소될 것으로 보고 있다. 다만 언제 있을지 모르는 변수에 대비해 수입 공급선 다변화와 소재 국산화 정책은 정부와의 협의 및 지원을 통해 꾸준히 추진할 계획이다.

 

일본이 반도체 소재에 대한 수출규제에 이어 수출심사 우대 대상국인 '화이트리스트'(백색국가 명단)에서 한국을 제외하기로 결정한 지난 2일 경기 용인 삼성전자 기흥사업장 모습. [사진=연합뉴스]