SMEC 카세트 수직 이송용 승강장치 특허 취득

아주경제 박정수 기자=SMEC는 반도체 카세트 수직 이송용 승강장치인 '관절 로봇형 수직 승강장치' 특허를 취득했다고 29일 밝혔다.

SMEC가 이번에 취득한 '관절 로봇형 수직 승강장치'는 기존 특허 기술인 '더블암식 3단 카세트 이송로봇'을 추가 보완하는 기술이다.

기존에 개발된 '더블암식 3단 카세트 로봇'은 웨이퍼 등이 들어있는 카세트를 천장으로 들어올리기 위해 빔 형태를 적용했으나 이번 기술 개발로 링크 형태로 변경 적용하게 됐다. 이에 따라 공간 활용도가 더욱 높아졌으며 기존 특허 기술이 더욱 보완 업그레이드 됐다.

회사 측 관계자는 "기존 기술의 업그레이드 및 보완 기술 역시 중요한 지적 재산"이라며 "로봇 분야의 다양한 기술 확보를 위해 앞으로 더욱 매진할 것"이라고 전했다.