​나노종기원-ASML코리아, 반도체 소부장 핵심 장비 신뢰성 검증 나선다

기술원 보유 노광장비 활용해 신뢰성 검증

ASML코리아와 부품 실증평가 협력체계 구축

SIOB 테스트 과정[사진=나노종합기술원]

나노종합기술원(이하 기술원)이 세계적 장비기업 ASML코리아(노광장비 파트수리 검증 솔루션 개발팀)와 반도체 핵심 노광장비 부품 신뢰성 테스트를 위한 협력 프로젝트를 추진한다고 21일 밝혔다.

ASML은 전 세계적으로 40㎚ 이하 반도체(20㎚급 메모리반도체 등) 개발과 생산을 위해 활용되고 있는 장비기업이다. ASML은 한국뿐만 아니라 전 세계적으로 안정적인 장비 유지보수 서비스 제공을 위한 부품 테스트베드 협력기관이 필요했다.

이에 ASML코리아는 기술원이 보유한 노광장비를 활용해 핵심 장비부품 신뢰성 검증 가능성을 확인하고, 기술원에 부품 개발 협력을 요청했다.

기술원은 해당 노광장비는 국내 반도체 대기업에서 반도체 생산을 위해 활용되는 핵심장비라고 설명했다. ASML코리아의 부품 신뢰성 검증 지원을 통해 국내 반도체 산업에 기여할 수 있다고 판단하고 상호 협력을 추진하게 됐다고 덧붙였다.

이는 기술원이 노광장비 세계 최고 기업인 ASML과 협력하여 반도체 부품 신뢰성 실증평가를 지원할 수 있는 세계적 수준의 반도체 테스트베드로 인정받고 있다는 것을 의미한다.

이번 협력을 통해 ASML코리아가 전 세계 장비부품에 대한 수리를 완료하면, 기술원 보유 장비를 통해 정상 작동 여부를 판단해 신뢰성을 검증하는 식으로 이뤄졌다. 이번에 검증한 부품은 반도체 노광공정 장비의 웨이퍼 스테이지 작동을 관리하는 컴퓨터 부품(SIOB)이다. ASML코리아가 개발한 테스트 기기의 신뢰성을 높이기 위해 평가 결과 비교, 수명성 테스트 등을 진행하고 부품 신뢰성 검증과 정상 작동을 확인했다.

이번 협력성과를 통해 기술원 보유 300㎜(12인치) 반도체 장비와 공정기술을 활용한 다양한 장비부품의 검증·개발 가능성을 확인했고 향후 지속 협력하기로 했다.

이우경 ASML코리아 대표는 "나노종합기술원이 보유한 장비를 사용해 실제 공정환경과 유사한 환경에서 테스트해, 부품의 기술적 신뢰성을 한 층 더 높일 수 있게 됐다"며 "앞으로도 지속적인 협업을 통해 자체 개발한 부품을 검증하고, 국내 반도체 기업이 보유한 ASML 장비의 신속·정확한 유지보수를 지원할 계획"이라고 밝혔다.

이조원 나노종합기술원장은 "이번 성과로 기술원이 반도체 소부장(소재·부품·장비) 개발을 위한 테스트베드로서의 핵심기능을 세계적으로 인정받은 것"이라며 "향후 국내외 반도체 소부장 제품개발 지원 역할을 강화해 나가겠다"고 밝혔다.