원익아이피에스는 이번 특허가 “복수의 기판을 처리하는 원자층 증착장치에서 박막의 균일도를 향상시킬 수 있는 박막 증착 장치”라며 “향후 반동체 장비의 경쟁력 강화에 도움이 될 것”이라고 밝혔다.
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아주경제 유희석 기자= 원익아이피에스는 18일 가스분사 조립체 및 이를 이용한 박막 증착 장치에 대한 특허를 취득했다고 공시했다.
원익아이피에스는 이번 특허가 “복수의 기판을 처리하는 원자층 증착장치에서 박막의 균일도를 향상시킬 수 있는 박막 증착 장치”라며 “향후 반동체 장비의 경쟁력 강화에 도움이 될 것”이라고 밝혔다.
원익아이피에스는 이번 특허가 “복수의 기판을 처리하는 원자층 증착장치에서 박막의 균일도를 향상시킬 수 있는 박막 증착 장치”라며 “향후 반동체 장비의 경쟁력 강화에 도움이 될 것”이라고 밝혔다.
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