핵융합연 플라즈마 기술 활용 반도체 공정 소프트웨어 국산화

아주경제 이한선 기자= 정부 출연연구소의 기술이전을 받은 중소기업이 반도체 공정 소프트웨어를 국산화했다.

미래창조과학부는 국가핵융합연구소로부터 플라즈마 기술을 이전받은 국내 중소기업 경원테크가 반도체 핵심 제조공정에 필요한 소프트웨어 국산화에 성공해 삼성전자에 공급한다고 13일 밝혔다.

경원테크는 핵융합연, 표준연, 전북대, 부산대 등과 산학연협력 연구를 통해 플라즈마를 사용하는 반도체 식각 및 증착공정을 시뮬레이션하는 소프트웨어인 K-스피드 개발에 성공해 최근 삼성전자 반도체연구소와 성능평가를 완료하고 소프트웨어 공급계약을 체결했다.

K-스피드는 반도체 공정 중 박막이 형성된 표면을 깎아 불필요한 부분을 제거하고 회로 패턴이 드러나도록 하는 식각 및 실리콘 기판위에 얇은 막을 입히는 증착 공정을 사전에 시뮬레이션해 공정 결과를 예측할 수 있는 프로그램이다.

이번 개발 성공으로 반도체 공정해석 기술의 국산화가 가능하게 돼 외국에 의존하고 있는 핵심기술의 한계를 극복할 수 있을 것으로 기대된다.

K-스피드는 GPU 기반의 병렬화 성공을 통해 기존의 단일 CPU 기반 제품대비 100배 이상의 계산시간 단축에 성공했다.

기존 제품이 실제 반도체 공정에서 사용되는 복합가스가 아닌 단일가스만을 이용한 플라즈마를 해석하는데 반해 K-스피드는 실제 공정에 사용되는 복합가스의 반응을 정확하게 연산하는 것으로 확인됐다.

K-스피드는 더 빠르고 정확한 반도체 제조 공정개발과 구조개발 등 신기술 개발 등에 활용될 수 있을 것으로 기대된다.

또 반도체 산업 소프트웨어 국산화를 통해 기반기술을 확보하고 국내 제조사 공정기술의 해외 유출을 방지해 국내 반도체 산업의 글로벌 경쟁력 확보에 기여할 것으로 예상된다.

K-스피드 개발 성공은 정부 출연연구소의 기초연구과정에서 얻은 파생기술과 학계 기초연구 역량을 바탕으로 중소기업 기술 지원 노력을 통해 산업화에 성공한 산학연 협력의 성과다.

이번 성공은 핵융합연의 플라즈마 물성데이터 측정기술 등 기술이전 및 산학연 협력을 통한 산업화 지원과 함께 외국 소프트웨어의 단순 수입 및 배급역할에 안주하지 않고 국내 기술력으로 최고 수준의 소프트웨어 개발을 추진해 온 경원테크의 노력이 기반이 됐다.

K-스피드는 향후 국내외 기업으로의 판매가 예상되고 경원테크는 이를통해 200억원 이상의 매출을 목표로 하고 있다.

서광원 경원테크 대표는 “출연연과 지속적인 연구협력으로 국내외 반도체 공정해석 소프트웨어 시장에 진출할 수 있게 됐다”며 “향후 반도체 공정에 사용하는 다양한 복합가스 모듈, 플라즈마 화학반응 모듈 등이 장착되는 시뮬레이터 기술을 핵융합연에서 이전받아 추가적인 현장 맞춤형 반도체 공정 소프트웨어 개발을 통해 국산화 기술 확보 및 세계 시장 진출 등에 노력할 것” 이라고 밝혔다.