윤준보 KAIST 교수팀, 다양한 소재 나노선 대량 생산 기술 개발

산·학·연 공동 연구 성과

윤준보 교수.

아주경제 이한선 기자= 다양한 소재의 나노선을 대량 생산할 수 있는 기술을 국내연구진이 개발했다.

한국과학기술원(KAIST)은 전기및전자공학과 윤준보(42) 교수 연구팀이 LG이노텍, 나노종합기술원과 공동으로 첨단 과학 분야에서 핵심적인 소재로 쓰이고 있는 나노선을 다양한 소재로 필요한 길이만큼 대량 생산할 수 있는 기술을 개발했다고 22일 밝혔다.

연구결과는 나노 과학 분야의 권위 있는 학술지인 나노 레터스 지난달 30일자 온라인판에 게재됐다.

나노선은 폭이 최대 100나노미터 정도에 불과한 긴 선 모양의 구조체로 기존에 발견되지 않았던 다양한 열적, 전기적, 기계적 특성을 보이는 다기능성 나노 소재다.

수 밀리미터를 성장시키는데 3~4일이 소요될 만큼 합성 속도가 매우 느리고 대량 생산이 어려운 것은 물론 원하는 물질을 자유자재로 제작할 수 있는 기술은 개발되지 않았다.

기존 기술은 실제 적용을 위한 정렬에 복잡한 후처리를 해야 하고 완벽하지 못해 상용화에 걸림돌이 있었다.

연구팀은 종래의 문제점을 극복하기 위해 기존의 화학적 합성법을 사용하지 않고 반도체공정을 적용했다.

연구팀은 직경 20센티미터의 실리콘 웨이퍼 기판에 광식각 공정을 이용해 목표하는 주기보다 큰 패턴을 형성한 뒤 이 주기를 반복적으로 줄여가는 방법을 이용해 100나노미터 초미세 선격자 패턴을 제작했다.

이 패턴을 기반으로 반도체 제조과정에서 널리 쓰이는 박막증착공정을 활용해 폭 50nm, 최대 길이 20cm의 나노선을 완벽한 형태로 대량 제조하는데 성공했다.

개발된 기술은 장시간 합성 공정을 거칠 필요가 없고 별도 후처리를 하지 않아도 완벽하게 정렬된 상태로 만들 수 있어 상용화 가능성이 높은 것으로 평가되고 있다.

윤 교수는 이번 연구에 대해 “낮은 생산성, 긴 제조시간, 물질합성의 제약, 나노선 정렬 등과 같은 기존 기술의 문제점을 해결했다는 데 의미가 있다”며 “그동안 나노선을 산업적으로 널리 활용하지 못했지만 개발된 기술을 활용하면 나노선을 사용한 고성능의 반도체, 광학, 바이오 소자 등의 상용화를 앞당길 수 있을 것”이라고 밝혔다.

KAIST 전기및전자공학과 연정호 박사과정 학생, 이영재 LG이노텍 책임연구원, 유동은 나노종합기술원 선임연구원이 참여한 이번 연구는 미래와 한국연구재단이 추진하는 중견연구자지원사업 지원으로 수행됐다.