에스티아이, 기판 건조장치 특허취득

에스티아이는 기판 사이즈 변경에 따라 기판을 지지하는 고정핀의 위치를 자동으로 조절할 수 있는 기판 건조장치의 특허권을 취득했다고 27일 공시했다.

회사측은 “기판사이즈의 변경에 따라 고정핀의 위치를 자동으로 변경할 수 있어 다양한 사이즈의 기판 건조공정에 적용될 수 있다”며 “특히 여러 공정을 하나의 챔버 내에서 동시에 진행할 수 있다”고 밝혔다. 이어 “기판 건조장치는 기판 사이즈가 변경되더라도 고정핀의 위치 변경을 통해 기판의 비활성 영역을 지지하기 때문에 기판 사이즈 변경에 따른 기판의 건조 불량을 방지할 수 있다”고 말했다.

이번 특허는 잉크젯 프린팅을 위한 LCD 배향막 및 컬러필터 공정 등에 적용될 예정이다.

아주경제= 심재진 기자 [e-mail]
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