[공시] 에스엔유, 원자층 증착장치 특허 취득

아주경제 이규진 기자 = 에스엔유는 5일 원자층 증착장치에 대한 특허를 냈다고 공시했다. 이 특허는 원자층 증착장치에 관한 것으로 기판이 각 증착소스에 노출되는 시간을 조절해 기판의 양방향 이송에도 사용 가능하도록 할 수 있다.