회사측 관계자는 “이번 특허발명은 반도체 제조 장치에 있어서, 서로다른 유전율을 갖는 박막을 증착하는 방법에 관한 기술”이라고 설명했다.
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아주경제 박수유 기자=원익아이피에스는 4일 반도체 소자 제조 방법에 대한 특허권을 취득했다고 공시했다.
회사측 관계자는 “이번 특허발명은 반도체 제조 장치에 있어서, 서로다른 유전율을 갖는 박막을 증착하는 방법에 관한 기술”이라고 설명했다.
회사측 관계자는 “이번 특허발명은 반도체 제조 장치에 있어서, 서로다른 유전율을 갖는 박막을 증착하는 방법에 관한 기술”이라고 설명했다.
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